WF6 عمدتاً به عنوان ماده خام برای فرآیند رسوب شیمیایی بخار (CVD) تنگستن فلزی در صنعت الکترونیک استفاده می شود. WSi2 ساخته شده از WF6 می تواند به عنوان یک ماده سیم کشی در مدارهای مجتمع در مقیاس بزرگ (LSI) استفاده شود و همچنین می تواند به عنوان ماده اولیه برای الکترودهای نیمه هادی، مواد اولیه فلوئور برای عوامل شیمیایی، کاتالیزورهای پلیمریزاسیون، مواد نوری و غیره استفاده شود.