WF6 عمدتاً به عنوان ماده اولیه برای فرآیند رسوب بخار شیمیایی (CVD) تنگستن فلزی در صنعت الکترونیک استفاده می‌شود. WSi2 ساخته شده از WF6 می‌تواند به عنوان ماده سیم‌کشی در مدارهای مجتمع در مقیاس بزرگ (LSI) مورد استفاده قرار گیرد و همچنین می‌تواند به عنوان ماده اولیه برای الکترودهای نیمه‌هادی، مواد اولیه فلوئور برای عوامل شیمیایی، کاتالیزورهای پلیمریزاسیون، مواد نوری و غیره مورد استفاده قرار گیرد.